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真空碳管烧结炉有什么作用呢?
  • 发布日期:2019-12-12      浏览次数:10
    •        真空碳管烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行的控制。
        真空碳管烧结炉主要用于工业陶瓷、结构陶瓷、金属陶瓷、硬质合金行业作为材料在气氛和压力条件下的烧结设备。系周期作业式电炉,它是以优质石墨作发热体的高温、高真空电阻炉,额定温度为2000℃。在特殊需要的情况下,允许在保护气氛中,短时间工作到2400℃-2500℃。可供金属、难熔化合物及陶瓷材料等在真空或保护气氛中加热之用。
        电炉为立式真空电阻炉,它由炉身、炉盖、真空系统、电气系统和水冷系统等部分所组成。炉身采用水冷夹层结构。炉盖可以借弹簧力开启。炉体上设有二个观察窗,可以观察工件加热的碳管电阻炉情况。炉内装有石墨电极,它是由相互绝缘的两个半圆组成的石墨发热体接触的表面采用圆柱面结构。石墨发热体在其纵向开了数条细缝,以增加电阻,并使发热体可以一端通电,而另外一端在加热时允许自由的膨胀。发热体的周围有多层石墨纤维隔热屏装置,其组装在一起便于取出炉外。
        真空系统是由扩散泵、机械泵以及真空阀等组成。真空的测量采用热偶真空计和电离真空计。电气系统由可控硅电压调整器、低电压变大电流变压器和控制柜所组成。
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